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真空环境下湿度传感器得选型

更新时间:2025-11-18      点击次数:5

  在真空环境下,选型的核心思路是放弃传统“相对湿度"概念,转向测量“露点"或“水蒸气分压"。选型决策主要基于您的真空度、测量目的和预算。
  核心结论:电容式高分子薄膜露点传感器
  对于绝大多数工业应用和科学研究,电容式高分子薄膜露点传感器是默认的选择,因为它实现了性能、可靠性和成本的最佳平衡。
  四大主流技术选型对比,下表清晰地对比了四种主要技术的特点,帮助您快速决策。

四大传感器对比.png


  真空湿度传感器选型决策图:
  遵循以下决策流程,可以帮您快速锁定适合您需求的传感器类型:


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  关键选型要点与注意事项:
  1.真空度与量程匹配:
  确认传感器的露点测量范围是否能覆盖您的真空工艺要求。例如,高真空环境需要传感器能测量-80°C以下的露点。
  2.安装与集成:
  接口:确保传感器探头带有适合您真空腔体的标准法兰(如CF、KF、ISO)。
  位置:安装在能代表工艺气体区域的位置,避免死角和局部放气源。
  出气率:传感器自身材料应是低出气率的,避免污染您的真空系统。
  3.校准与维护:
  真空露点传感器需要定期校准以保持精度。询问供应商的校准周期、服务和成本。
  了解传感器的预期寿命和在污染环境下的稳定性。
  最终建议:
  如果您不确定,就从电容式高分子传感器开始。它是解决90%真空湿度测量问题。

  联系专业供应商的技术支持,如维萨拉代理商江苏辰铭或密析尔,提供您的具体工艺参数(如真空度范围、工艺温度、是否存在其他气体等),他们能为您推荐最合适的型号。


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