维萨拉为智能洁净室技术为IC制造保驾护航

　　随着市场环境的优化升级和国家政策的有利驱动，新能源汽车、智能驾驶、智能终端和5G等行业对集成电路的需求激增。而作为典型的高精尖产业，集成电路的制造对生产环境和工艺的要求极为苛刻。其中，洁净室的建设是集成电路制造中的关键环节，对最终产品的性能具有至关重要的影响。

　　作为我国早专业从事洁净室机电设备安装的工程公司之一，中国电子系统工程第四建设有限公司（以下简称“中电四公司”）可为集成电路制造企业提供设计、采购、项目管理、施工、设施管理、洁净室配套产品制造等一体化“交钥匙”工程服务。

　　2021年，在为北京集电控股有限公司（以下简称“北京集电”）建设集成电路车间洁净室项目中，中电四公司为满足客户对环境监测的高精度和高稳定性要求，选择与维萨拉合作，将工业用温湿度变送器HMT330、本质安全型温湿度变送器HMT370EX和温湿度变送器HMT120等系列产品，成功应用于北京集电厂房洁净室。自应用以来，相关仪表和变送器运行稳定，测量准确。

　　纤毫必显打造高标准的洁净车间：

　　穿戴严密封闭的特制护服和鞋套，经过严格的车间消杀流程，再通过数道相互独立隔离的车间闸门，操作员方能进入标准严苛的集成电路厂房洁净室。不同于一般工业品，集成电路从单晶硅片制造到IC制造再到IC封装的重要步骤，均需在洁净室中完成。无论是微小的粉尘和碎屑，还是无形的环境温度和湿度等，都将对制造过程产生重大影响。

　　“集成电路的制造对生产环境的要求非常高，需要对温度、湿度等参数进行极为精确、稳定的测量，从而确保生产环境的稳定可靠。”中电四公司市场管理中心总经理张琪表示，“2020年，早在北京集电洁净室项目的投标阶段，我们知道维萨拉的相关产品可满足客户对温湿度测量的苛刻需求。于是，我们决定采用维萨拉产品作为测量仪表进行投标，由此也开启了与维萨拉一系列的深度合作。”

　　随着我国集成电路制造工艺的升级，其制造过程需要的洁净程度也水涨船高，这对于洁净室的建设提出了越来越高的要求。据介绍，北京集电所制造的集成电路工艺目前已突破28纳米，对应的洁净室环境温度误差为±0.3°C，湿度误差为±3%。一旦温度和湿度突破限定误差，将显著影响产品的良品率、使用性能和可靠性。

　　针对上述应用环境，维萨拉的多款产品如HMT330、HMT120和HMT370EX在其中扮演重要角色。其中，HMT330可在恶劣环境中和苛刻需求下实现精准测量，还可针对不同的应用环境实现定制，从而满足多样的客户需求。而HMT120则是一款专为洁净室等环境打造的温湿度变送器，智能测量探头可现场更换，轻松实现测量的可追溯性。